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揭秘tft液晶显示屏的制造工艺流程?

类别:行业动态 文章出处:/发布时间:2018-08-06 浏览人次:

tft液晶显示屏一直都是显示屏行业的主流,它无论是亮度还是对比度已经层次感和颜色的鲜明度都是很有竞争力的。因此它主流位置也是当之无愧的,之所以根深蒂固是因为它的出彩,优奕视界作为一家专业从事工业级液晶显示屏、触摸屏的生产厂商,今天来给大家分享一下tft液晶显示屏的制造工艺流程。


tft液晶显示屏的制造工艺有以下几部分:在tft基板上形成tft阵列;在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及ito导电层用两块基板形成液晶盒;安装外围电路、组装背光源等的模块组装。


在tft基板上形成tft阵列的工艺  现已实现产业化的tft液晶显示屏类型包括:非晶硅tft(a-si tft)、多晶硅tft(p-si tft)、单晶硅tft(c-si tft)几种。目前使用最多的仍是a-si tft。a-si tft的制造工艺是先在硼硅玻璃基板上溅射栅极材料膜,经掩膜曝光、显影、干法蚀刻后形成栅极布线图案。


一般掩膜曝光用步进曝光机。第二步是用pecvd法进行连续成膜,形成sinx膜、非掺杂a-si膜,掺磷n+a-si膜。然后再进行掩膜曝光及干法蚀刻形成tft部分的a-si图案。第三步是用溅射成膜法形成透明电极(ito膜),再经掩膜曝光及湿法蚀刻形成显示电极图案。第四步栅极端部绝缘膜的接触孔图案形成则是使用掩膜曝光及干法蚀刻法。第五步是将al等进行溅射成膜,用掩膜曝光、蚀刻形成tft的源极、漏极以及信号线图案。最后用pecvd法形成保护绝缘膜,再用掩膜曝光及干法蚀刻进行绝缘膜的蚀刻成形,(该保护膜用于对栅极以及信号线电极端部和显示电极的保护)。至此,整个tft液晶显示屏工艺流程完成。


tft液晶显示屏的结构就如同三明治一样,将液晶夹杂在两片玻璃基板之间。看了上述的制造流程想必大家也有了一定的了解,想了解更多关于工业级液晶显示屏、触摸屏问题欢迎咨询优奕视界,咨询电话:400-660-3306。

tft液晶显示屏

此文关键词:tft液晶显示屏

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